E-030K
走査型プローブ顕微鏡システム
AFM-5300, AFM5400
主な用途
微小領域の表面形状や物性の測定
仕様詳細
環境制御型ユニット AFM5300E は 20 mmφ×10 mm (厚さ) までの大きさの試料に対応可能で、温度可変 (-120 ~ 300℃) および真空下で測定可能な設備を備えている。高精度大型プローブ顕微鏡ユニット AFM5400L は 8 インチ (20.32 cm) φ× 22 mm (厚さ) 程度の大きさの試料まで対応可能である。いずれも光学顕微鏡を備え、装置の調整、試料の位置合わせが容易にできる。データ処理部は高速フーリエ変換 (FFT) を始めとする各種のフィルターおよび画像解析プログラムを有し、視覚に訴える3次元画像を作成することができる。
メーカー
日立ハイテクサイエンス
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