E-014K
走査型電子顕微鏡
S-4300
主な用途
検体表面の微細形態と元素分布の解析
仕様詳細
電界放出型電子銃（FEG）を備えた装置で、加速電圧は0.5 ~ 30 kVの範囲で可変することが可能であり、倍率は20 - 500,000倍、分解能は1.5 nm（15 kV）および 5.0 nm（1 kV）である。高輝度な電子銃により、低加速電圧、例えば、1 kVでも高分解像を得ることができる。また、低加速電圧にて、無蒸着観察の可能な試料もある。装備されたX線分析装置EX-220は炭素などの元素分析ができる。
メーカー
日立製作所
装置のご利用やその他のお問い合わせは