[ 共同利用機器 ] X線光電子分析装置

E-029K

X線光電子分析装置

Quantera SXM-GS

主な用途

無機材料表面の元素組成や化学結合状態の分析

仕様詳細

固体極表面の数原子層での元素組成や化学結合状態の分析が可能である。分析できる試料表面からの深さは0.5 ~ 5 nmほどで、走査電子顕微鏡のエネルギー分散型X線分析装置と比べ、物質の極表面分析に適している。元素由来の光電子スペクトルで示される電子の原子核に対する結合エネルギーと放出された光電子の強度から、元素の同定、定量分析ができるほか、光電子ピークの微妙な化学シフトから、目的原子の化学結合状態も求めることができる。

メーカー

アルバック・ファイ

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