E-016K
走査型電子顕微鏡装置
S-3000N
主な用途
生物試料の微細構造の観察
仕様詳細
タングステンヘアピン型（熱電子放出型）電子銃を備えた装置であり、加速電圧が 0.3 ~ 30 kVの範囲で使用する。倍率は5 ~ 300,000倍で、二次電子像分解能は3.0 nm（高真空モード、加速電圧25 kV）、反射電子像分解能は4.0 nm（低真空モード、加速電圧 25 kV）である。このSEMの特徴は、低真空270 Pa（約 2 torr）で試料の観察が可能なことである。
メーカー
日立製作所
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