E-015K
走査型電子顕微鏡装置
S-4800
主な用途
複合材料、新素材等の表面の微細形態、元素分布の解析
仕様詳細
電界放出型電子銃（FEG）を備えた装置で、加速電圧が15 kVで1.0 nm、1 kVでも2 nmの高分解能を有する。試料ステージにマイナスの電圧をかけ、入射電子を減速するリターディング機能を用いると1 kVで1.4 nmの分解能が得られる。X線分析装置EX-250X-actが接続されており、SEM像に合わせて元素分析が可能である。試料のX-Y移動および回転の3軸が電動で調整できる。ExTOPEシステムにより、リアルタイムで遠隔地から画像が確認できる。
メーカー
日立製作所
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